MKS提供各种臭氧发生器和模块化输送系统，可产生超纯，可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中，臭氧与各种前体气体发生反应，产生Al2O3，ZrO2，HfO2和La2O3金属氧化物，以实现薄膜沉积工艺，如原子层沉积（ALD）和蚀刻（ALE）。MKS 的发生器使用 6 级气体，能够产生更高的薄膜密度，从而提高产品产量。光伏和......

半导体蚀刻选择性地从基板上的薄膜中去除材料，以在基板上创建该材料的图案，这是半导体器件制造工艺的关键部分，其中高度选择性的蚀刻可确保半导体芯片的质量和产量。MKS用于增强半导体刻蚀加工的解决方案包括真空，压力和流量测量与控制，等离子体和发电，臭氧输送和过程自动化。...

通过对现行检修检测体制方法优缺点对比，分析了开拓应用变压器类电力设备状态监测和故障诊断技术的意义，研究了现在变压器检测与故障诊断技术，并对该技术现今发展存在的问题和发展前景进行了介绍。　　引言　　随着电力负荷逐渐增大，电力系统稳定性要求日益增高，变压器类电气设备的状态监测和故障诊断技术日益受到普遍关注，越来越多的研究、......

　国网襄阳供电公司的研究人员凡红涛、张勇刚，在2016年第2期《电气技术》杂志上撰文指出，220kV智能化变电站中，220kV断路器一般配置双重化的智能终端，相当于两套独立的操作箱。　　与常规综自站带双跳功能单操作箱相比，其防跳回路实现方式不同。本文在对常规操作箱防跳回路分析的基础上，提出了双重化智能终端防跳回路实现的......