ALD臭氧

如何提高ALD臭氧利用率？ 从臭氧浓度、脉冲时间到腔体设计全面分析

在臭氧辅助原子层沉积（ALD）工艺中，臭氧通常作为强氧化剂参与薄膜表面反应，可用于Al₂O₃、HfO₂、SnO₂等多种氧化物薄膜的制备。对于ALD设备而言，臭氧

阅读全文