臭氧发生器

3S-B20臭氧发生器系统采用模块化臭氧生成技术,集成臭氧在线检测仪,电子质量流量计,提供精确的高浓度臭氧。

液化超纯臭氧发生器是液化和储存臭氧气体并连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于高纯度的臭氧水平，它可以用作半导体工艺中的氧自由基产生源。臭氧浓度超90%。为了安全起见，本机具有足够的安全措施。

Micro臭氧发生器产生高达15克/小时的臭氧，尺寸为127*127*355.6mm，体积小，适合集成到ALD设备中。

加拿大Absolute Ozone Apex H30臭氧发生器，臭氧浓度高达16％wt，更高可达22%。需掺氮气。Atlas P30可达200mg/L，无需掺氮气。，可达22%。用于ALD\PLD\MBE\半导体\科研。

该款臭氧发生器采用双石英电晕放电技术，以满足超纯净和高浓度的臭氧需求，避免、减少金属污染及析出；特别适合光伏行业太阳能电池生产车间用抗PID臭氧发生器。

3S-T10（10g/h） ALD专用臭氧发生器，目前被广泛应用于ALD、PLD、MBE、半导体、科研等行业。臭氧产量10g/h，臭氧浓度可达120mg/L。进出口接头为1/4，可定制VCR接头。

3S-M3半导体用臭氧发生器臭氧浓度100mg/L，适合ald等臭氧浓度测试使用。设备采用第八代HYE智能电晕放电臭氧发生技术，浓度高，耐高压耐潮湿，抗腐蚀性强。产品可以在不同环境条件下稳定工作。

臭氧发生器BMT 803N是一种小型风冷冷却臭氧发生器，以氧气为原料气体。电介质是普通陶瓷。电极是钨。100 g/Nm3和20°C环境温度下，臭氧产量为8 g/h或更高。可获得的更大臭氧浓度超过250 g/Nm3。