1设备采用第八代HYE智能电晕放电臭氧发生技术，使用智能钛金纳米石英材料，温度低，浓度高，耐高压耐潮湿，抗腐蚀性强。产品可以在不同环境条件下稳定工作。
2模块化电路，体积小；防回水设计，回水不烧毁，更安全。
3设备元器件和管道等采用抗氧化器件，耐氧化，工作寿命长。
4采用空气/氧气两用型气源，应用更广泛。
5多级风冷冷却，可连续稳定工作。
6主机箱体不锈钢。
7设备配有双臭氧浓度调节装置，可根据实际情况自由调节臭氧浓度。
8内置高压气泵，可提供稳定的空气气源输出。
9采用同林电源，杜绝湿度影响，大大延长设备寿命。
技术参数
设备名称：臭氧发生器(半导体用)
浓度调节: 10圈旋钮可调
设备型号：3S-M3型
设备尺寸：250*190*540mm
设备功率：160W
臭氧产量：≤3g/h（气量0.05-5L/min）
臭氧浓度：空气源≤6mg/L,氧气源：10-120mg/L。
设备重量：15kg
安装方式：落地/壁挂
环境温度：温度0~35度
环境湿度：≤80%
冷却方式：风冷
外壳：不锈钢，防爆
电源：220V
臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型，含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号，纯度与浓度可按工艺要求配置。
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臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度，覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等，可在线连续监测并输出信号。
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臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水，适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景，出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。
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溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量，含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪（紫外法），适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。
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