3S-B20臭氧输送系统，配置Apex H30 高浓度臭氧发生器，双光路紫外臭氧在线检测仪，质量流量计，泄露报警器等，独特的风冷设计，体积小、浓度高、稳定性好，是半导体ALD PLD CVD ALE MBE 等应用的不二选择。
技术参数
臭氧产量：15-200 g/hr（取决于配置）
工作压力：20-80psi（取决于配置）
臭氧浓度：30g - 0.5L/min@300mg/L高达 20 wt%
冷却：风冷
检测系统，过程臭氧检测（0-400mg/L）
气源：氧气
气体流速：0.1-20SLM（取决于配置）
工作温度0-40℃
控制界面：触屏操作，4-20mA远程控制
重量：50kg
电源：220V 50/60HZ
功率：380W
接头：1/4 VCR接头
臭氧发生器产量规格
定制：10g/h、30g/h、60g/h、80g/h、100g/h、200g/h
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