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臭氧浓度稳定性测试(视频)

臭氧浓度稳定性测试


在原子层沉积(ALD)、半导体工艺中使用臭氧具有多方面的优势,这种工艺是一种精密薄膜沉积技术,广泛应用于半导体、光电子器件、纳米技术等领域。臭氧作为氧化剂,能够提供高质量的氧原子源,与金属有机前体分子反应,形成氧化物或氢氧化物薄膜。由于ALD工艺的每一步反应都是单层分子沉积,使用臭氧能够提供非常纯净且致密的薄膜沉积。因此臭氧的稳定性非常重要。

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