NANO15臭氧发生器与德国BMT965ST臭氧分析仪用于ALD系统
臭氧发生器产生高达15克/小时的臭氧，尺寸为127*127*355.6mm，体积小，风冷、适合集成到ALD设备中。配有4-20mA/0-10VDC远程控制输入，允许通过外部信号进行精确的设备控制。
概述:臭氧分析仪BMT 965 ST拥有数十年的臭氧光度计及其工业应用经验。应用于监测臭氧发生器输出，半导体臭氧工艺，浓度范围为：50、100、200、300、400、500、600 g/Nm3可选。
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