NANO15臭氧发生器集成ALD现场

发布时间：2025-06-09 10:57:54 浏览：栏目：案例展示

NANO15臭氧发生器集成ALD现场

NANO15臭氧发生器集成ALD现场(图1)

NANO15臭氧发生器体积小，适合集成在ALD设备中，可通过4-20mA对其进行控制。

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