BMT803N臭氧发生器实测浓度达200mg/L（13%wt）
BMT803N臭氧发生器与BMT 965BT臭氧检测仪
BMT803N臭氧发生器与3S-J5000臭氧检测仪与F2半导体用臭氧尾气破坏器
BMT803N臭氧发生器可达250mg/L，在32℃环境下实测臭氧浓度达200mg/L。臭氧检测仪为BMT 965BT。气源为纯氧。用于ALD行业。
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