同林 3S-J1000臭氧水浓度检测仪是紫外线光度直接测量超纯水或恒定浊度水的臭氧含量。可定制版本为3S-J1000-HF可用于20%的氢氟酸臭氧水溶液。与臭氧水接触的材料有：PTFE、FFPM、PFA和石英。3S-J1000溶解臭氧水浓度检测仪带有进水口和出水口并且配置有触摸屏操作界面。输出带有4-20mA和RS-485信号线直接连接到PLC。
检测原理：紫外光双光路吸收法，用于纯水或半导体行业溶解臭氧水浓度的分析和检测。
技术参数
测量量程：0-100ppm；（可选0-50ppm ; 0-200ppm ; 0-300ppm）
光源寿命：约50000小时；
取样方式：正压取样
注：所有的取样方式必须在出水口加装泵、阀、流量计；
臭氧接触材料：石英、聚四氟乙烯
显示界面：触摸屏操作界面；
显示单位：g/m3，mg/L，ppm可选；
显示分辨率：0.01ppm；
取样流量：0.2-0.3L/min；输入压力：<0.1MPa；
浓度误差 : 最大0.3％FS； 线性误差 : 最大0.2％FS；
零点漂移：<±0.3%.FS；环境温度 : 0-50℃；
接口方式：快拧或卡套接头;
取样口径：Φ8（8mm*6mm）或1/4
通讯方式：RS-485；输出方式：4-20mA；
电源：24VDC；
尺寸： 170mm×270mm×90mm；
重量：3Kg
1.紫外线光度法
2.触摸屏操作界面
3.正压取样
4.工业级
臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型，含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号，纯度与浓度可按工艺要求配置。
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臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度，覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等，可在线连续监测并输出信号。
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臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水，适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景，出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。
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溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量，含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪（紫外法），适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。
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