高浓度臭氧发生器用于PLD现场

高浓度臭氧发生器在PLD（脉冲激光沉积）可以用作氧化剂，用于氧化金属目标，从而实现氧化物薄膜的沉积。在PLD过程中，臭氧通常用于改变目标材料的化学性质，形成氧化物薄膜或复合薄膜，具有广泛的应用。