应用领域:半导体,臭氧发生器厂家,市政用水行业,工业污水行业,精细化工行业食品跟饮用水行业,空间消毒行业,泳池消毒行业,香精合成行业等使用臭氧发生器行业。

3S-J5000型臭氧在线检测仪
3S-J5000型臭氧在线检测仪
3S-J5000型臭氧在线检测仪
3S-J5000型臭氧在线检测仪
技术参数及安装
1.检测原理:双光路紫外吸收法
2.臭氧检测量程:0~200 mg/L(可选0~100mg/L、0~500 mg/L);
3.分辨率:≤ 0.01 mg/L;
4.测量对象:气相臭氧;
5.输入臭氧流量:≤ 1 L/min;
6.零点漂移:<0 .3%FS;
7.响应时间:<2s;
8.检测精度:0.3%FS;
9.电源:220V;
10.信号输出:4~20 ma; RS485;
11.功率:≤180W;;
12.安装方式:壁挂/台式;
13.标称工作压力:≤0.1MPa(测量大压力臭氧必须并联测量,使测量出口端排空);
14.取样口管径:Φ8(8 mm*6 mm)
15.重量6.5 ± 0.5 kg;
16.尺寸:≤ 355*295*175mm;;
17.触屏操控;
18.工作环境温度:-10~40 ℃;
19.取样方式:正压;
20.校零方式:催化剂自动校零;允许通臭氧时校零。
21.带存储功能;可以接入臭氧质量流量计信号。
产品建议返回厂家校验周期:18个月
注:1mg/L=1g/m3=467PPM
测试方法:双光束紫外光吸收法,测量精度高
产品优势:相比单光束更快的响应速度
紫外光源:长寿命紫外光源(253.7nm)
智能补偿:内置光源自动补偿功能
测量范围:极宽的测试范围0~500 mg/L;
产品供电:100到240VAC宽电压设计;
数据显示:LED显示,可选择背光,黑暗中也可清晰读数;
输出功能:可选配4-20mA电流信号输出或者RS485通讯
3S-J5000型台式臭氧浓度在线分析仪开机即进入工作状态,建议热机10min后使用。使用时,请首先确保电气、管路连接正确,流量控制在1.0L/min左右。
进入紫外传感器的气体务必保持干燥,无杂质,若气体湿度高应加干燥装置,除尘装置。

臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型,含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号,纯度与浓度可按工艺要求配置。
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臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度,覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等,可在线连续监测并输出信号。
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臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水,适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景,出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。
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溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量,含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪(紫外法),适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。
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