为某院ALD设备提供高浓度臭氧源测试现场

为某院ALD设备提供高浓度臭氧源测试现场

在近期完成的某研究院原子层沉积（ALD）设备配套项目中，我们成功实施了高浓度臭氧源现场测试，验证了关键工艺气源供应的可行性与稳定性。此次测试采用了Atlas P30高浓度臭氧发生器作为核心气源设备，搭配3S-J5000臭氧检测仪进行实时浓度监测，并配置了专用配套管路、精密流量计及臭氧尾气破坏器等辅助单元，构建了一套完整、密封、可控的臭氧供应与检测系统。

现场调试过程中，Atlas P30臭氧发生器运行稳定，臭氧产出效率高，配合精密的流量调控与在线监测装置，系统在连续运行状态下表现出优异的浓度输出能力与良好的重复性。经3S-J5000臭氧检测仪多点位比对测试，出口臭氧浓度持续稳定在200mg/L以上，峰值表现超过用户预期技术指标，完全满足ALD工艺对高浓度氧化气氛的严格要求。

此外，臭氧尾气破坏器的有效工作确保了系统排气安全环保，杜绝臭氧泄漏风险，保障了现场测试的规范性与安全性。此次成功测试不仅验证了Atlas系列臭氧发生器在高端镀膜场景中的适用性，也为后续ALD设备的工艺开发和量产导入提供了可靠的数据支撑与气源保障。