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半导体臭氧设备服务商
北京同林科技有限公司是一家是提供高纯高浓度臭氧发生器系统服务商,目前产品包括半导体用高浓度臭氧发生器、臭氧气体分析仪、溶解臭氧分析仪、臭氧水机、半导体用管道和接头等。 已经应用于众多半导体企业、科研单位。为原子层沉积(ALD)、化学气相沉积(CVD)、光刻胶带、晶片清洁、污染物去除、表面调节和氧化物生长等半导体工艺设备提供系统设备。 北京同林为日本明电舍超纯臭氧发生器授权销售商,北京同林为加拿大Absolute Ozone高浓度臭氧发生器中国总代理商。 公司将紧跟半导体行业的需求,不断创新和提升半导体臭氧技术水平,以客户需求...
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ALD、CVD、PLD、MBE臭氧解决方案
20年臭氧应用经验
众多半导体企业使用经验
加拿大Absolute官方授权商
臭氧发生器
Apex H30 ALD 用高浓度臭氧发生器(22%wt)
加拿大Absolute Ozone Apex H30臭氧发生器可以仅从4 LPM氧气产生30克/小时的臭氧。臭氧浓度高达15%(重量),可达22%。用于ALD\PLD\MBE\半导体\科研。
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臭氧发生器
ALD用液化超纯臭氧发生器
液化超纯臭氧发生器是液化和储存臭氧气体并连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于高纯度的臭氧水平,它可以用作半导体工艺中的氧自由基产生源。臭氧浓度超90%。为了安全起见,本机具有足够的安全措施。
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臭氧发生器
高浓度板式臭氧发生器(MBE、半导体、科研用)
体积小巧,可产生 200g/m3 浓度。由于采用脉宽调制控制系统,臭氧产生量可在0~100%全范围内调节,实现精确调节。用于ALD\PLD\MBE\半导体\科研。
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臭氧发生器
B20高浓度臭氧发生检测系统
3S-B20臭氧发生器系统采用模块化臭氧生成技术,集成臭氧在线检测仪,电子质量流量计,提供精确的高浓度臭氧。
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臭氧发生器
EXT-10高纯净臭氧发生器 (无金属污染及析出)
该款臭氧发生器采用双石英电晕放电技术,以满足超纯净和高浓度的臭氧需求,避免、减少金属污染及析出;特别适合光伏行业太阳能电池生产车间用抗PID臭氧发生器。
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臭氧气体分析仪
国产高浓度紫外臭氧分析仪
3S-J5000臭氧分析仪依据朗伯—比尔定律,通过测量臭氧对紫外光吸收前后的光信号强度变化,计算出当前臭氧浓度值。设备使用双光路紫外光源系统,可设置自动或手动校零,根据测量时长,可设置自动校零时间。
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臭氧气体分析仪
德国BMT 965ST高浓度臭氧分析仪
臭氧分析仪BMT 965 ST拥有数十年的臭氧光度计及其工业应用经验。应用于监测臭氧发生器输出、过程后残余臭氧的监测、饮用水处理、废水处理、工业臭氧处理。 半导体臭氧工艺
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臭氧气体分析仪
API Model 465H高浓度过程臭氧监测仪
465H 型号中包含的传感器模块使用具有非常窄的光谱敏感带的探测器,消除了需要易受紫外线或湿度影响而退化的紫外线带通滤波器。使用两个探测器:一个用于臭氧测量,另一个用于补偿紫外线灯强度的变化。
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溶解臭氧分析仪
半导体用溶解臭氧在线分析仪EL-700A/EC-755
测量原理:紫外吸收法;测量方法:连续测量;可在以下测量范围中选择0 ~ 5 0 ~ 10 0 ~ 20, 0 ~ 30 0 ~ 50, 0 ~ 60, 0 ~ 100 mg / L。
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溶解臭氧分析仪
臭氧水浓度检测仪(紫外法)
同林 3S-J5000-L臭氧水浓度检测仪是紫外线光度直接测量超纯水或恒定浊度水的臭氧含量。可定制版本为3S-J5000-L-HF可用于20%的氢氟酸臭氧水溶液。与臭氧水接触的材料有:PTFE、FFPM、PFA和石英。3S-J5000-L溶解臭氧水浓度检测仪带有进水口和出水口并且配置有触摸屏操作界面。输出带有4-20mA和RS-485信号线直接连接到PLC。
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臭氧尾气分解器
臭氧水消解器(分解器)
水中臭氧消解器采用UVC紫外光照射的方式将水中溶解的臭氧转化为氧气。该臭氧水消解器可根据紫外灯数量定制,每根紫外灯可单独控制,臭氧浓度可调。
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臭氧尾气分解器
UV光刻车间臭氧消除净化器
3S-W 系列臭氧消除净化器主要用途是光刻车间臭氧消除、臭氧尾气分解等。工作原理:臭氧气体和潮湿的空气被离心风机负压吸入反应室,通过温控器调节温度,臭氧气体先进行预热,再进入电加热室进行加热分解,随后从反应室排出,还原为空气。
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臭氧尾气分解器
高浓度臭氧尾气破坏器
AOD系列-臭氧破坏装置采用热催化方法,安全可靠地将臭氧催化为氧气,无需耗材。
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陶瓷板管路阀门
美国MKS、加拿大Absolute板式臭氧发生器 放电电极陶瓷板
陶瓷板是板式臭氧发生器重要的放电部分,该陶瓷片匹配美国MKS臭氧发生器AX8415 AX8410 AX8407等型号。
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陶瓷板管路阀门
阀门减压器
半导体行业用阀门和减压器。提供各种规格阀门。
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陶瓷板管路阀门
螺母接头
提供1/4卡套直通接头、1/4VCR接头、1/4VCR螺母头、1/4VCR螺公头 接头规格包括1/4、3/8、 1/2 、3/4 、6、 8 、19、 12、 18 。
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陶瓷板管路阀门
不锈钢管道
各种规格不锈钢管道、无缝钢管,1/4EP级不锈钢、AP级不锈钢、BP级不锈钢等。
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案例展示
ALD\PLD\MBE\半导体\科研用臭氧设备合作伙伴。
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O₃ 替代 H₂O 的 ALD 实验:提升薄膜质量
介绍一种使用臭氧(O₃)替代水(H₂O)作为 ALD 氧化剂的实验方法,比较其对薄膜厚度、一致性、介电性能的影响,并附上......
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