Model 465H 是一种基于微处理器的高浓度臭氧监测仪,用于测量水处理、食品加工和研究应用中的过程气体流中的臭氧。465H 被设计用于在长时间内提供准确和稳定的读数,几乎不需要维护或校准。Model 465H 提供 NEMA 4X 壁挂式外壳。
465H 型号中包含的传感器模块使用具有非常窄的光谱敏感带的探测器,消除了需要易受紫外线或湿度影响而退化的紫外线带通滤波器。使用两个探测器:一个用于臭氧测量,另一个用于补偿紫外线灯强度的变化。这种独特设计提供了一个无需校准或维护即可长时间运行的传感器。
内置诊断在操作参数超出范围时提供警告信号。可以在 Model 465H 运行时查看测试值。这些显示、警告和自诊断,加上模块化设计,很大限度地提高了正常运行时间。此外,任何可以从前面板设置或监控的功能都可以通过双向 RS-232 端口远程设置或查看。
测量原理:紫外吸收法 (比尔朗伯定律)
量程: 0-5% w/w 到 0-25% w/w
0-100g/Nm3 到 0-400g/Nm3
测量单位: % w/w, g/Nm3
精度 :± 1% 满量程
再现性: ± 0.5% 满量程
分辨率 :0.01 % w/w, 0.1 g/Nm3
响应时间 :T95<30秒
补偿 :压强, 温度(NTP = 273.15K, 760mmHg)
进气压强范围: 3.0 – 30.0 psig
气体流量 :0.2 – 2.0 LPM
温度范围: 5-45°C
尺寸 (高x宽x长) :挂式 – 16.85” x 15.60” x 6.90”(428 mm x 396 mm x 175 mm)
重量 :挂式 – 6.8 千克
电源 :110-240V, 50/60Hz, 74W
模拟输出 :0-5V 或 4-20mA 隔离输出
状态输出 :系统正常, 无效读数,紫外灯故障,流量故障
RS-232 (可选RS-485): 57.6 K波特, DB-9 连接器
认证 :CE
保护 : IP65 (NEMA 4X) (NEMA)
保修 :1 年
紫外吸收法
微处理器控制
菜单驱动软件
范围 0-5 到 0-25% w/w
内置诊断
自检警告警报
快速响应时间
最小零漂
包括可编程自动零位功能
可编程浓度报警器
温度和压力补偿(标准)
可选以太网

臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型,含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号,纯度与浓度可按工艺要求配置。
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臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度,覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等,可在线连续监测并输出信号。
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臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水,适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景,出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。
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溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量,含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪(紫外法),适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。
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