半导体工艺190mg/L高浓度臭氧分解实测

半导体工艺190mg/L高浓度臭氧分解实测

在半导体制造过程中，高效、安全地处理高浓度臭氧尾气是保障生产环境与员工健康的关键环节。近日，针对某知名半导体企业的严苛需求，同林科技进行了一场精准的实测验证。

本次测试直面挑战，采用190mg/L的超高浓度臭氧作为进气，超常规工况。测试搭载同林科技F2型臭氧尾气破坏装置为核心，并集成高精度臭氧检测仪与电磁阀控制系统，构建了一套实时监测、数据精准的闭环验证系统。

实测过程全程记录，数据清晰可见。结果表明，同林科技F2型尾气破坏装置面对此超高浓度进气，表现出了高分解效能，出口浓度迅速降至安全标准以下，分解效率超99.9%，符合半导体行业对于安全生产和环保排放的最高要求。

此次实测不仅验证了F2型产品在处理极端浓度臭氧上的能力与可靠性，更彰显了同林科技为半导体行业提供精准、高效安全解决方案的技术实力。