某半导体企业风冷臭氧发生检测系统
该系统目前已成功应用于某半导体企业,满足其对臭氧浓度高于200mg/L的严苛要求。
该臭氧发生系统可广泛应用于原子层沉积(ALD)、分子束外延(MBE)、脉冲激光沉积(PLD)等多种高端工艺领域。系统集成了高浓度风冷式臭氧发生器、紫外吸收式臭氧检测仪、电子流量计、精密压力控制单元、多路信号输入接口,并标配1/4英寸卡套或VCR接头,兼容性强且密封性能优异。
联系我们
第一时间了解我们的新产品发布和最新的资讯文章。
北京同林科技有限公司是一家是提供高纯高浓度臭氧发生器系统服务商,目前产品包括半导体用高浓度臭氧发生器、臭氧气体分析仪、溶解臭氧分析仪、臭氧水机、半导体用管道和接头等。 已经应用于众多半导体企... 您有什么问题或要求吗?
点击下面,我们很乐意提供帮助。 联系我们