什么是超纯臭氧发生器，臭氧浓度99%以上？

什么是超纯臭氧发生器，臭氧浓度99%以上？

超纯臭氧发生器是一台将臭氧气体液化并储存，并且能够连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于其高纯度的臭氧水平，它可以作为半导体工艺中的氧自由基生成源。

POG：纯臭氧发生技术

臭氧发生器产生的臭氧在低温下液化且仅100%液态臭氧被提取。

可连续供应浓度为100%的纯臭氧气体

仅在必要时通过蒸发。

超纯臭氧发生器的好处

高纯度：>80%；臭氧压力：<10000帕

在低温下实现80%以上的臭氧利用率，而不会发生臭氧分解（1）。

温度和压力范围使臭氧具有较长的寿命。

减压下的纯臭氧是稳定的，非常适合真空工艺。

按需供应

按需供应所需量的纯臭氧。

传统臭氧发生器产生的低浓度臭氧需要恒定真空过程中臭氧的供应。

兼容真空工艺

原子能层积膜、表面改性、灰化和清洁。

纯化学反应

化学过程无损伤，没有等离子体和紫外线等任何物理损伤非常适合需要低温（i）（例如低耐热性）的基片半导体、树脂和薄膜。

应用

多个ALDs的氧化源供应

氧化，CVD，绝缘膜改性，灰化，和干清洁

光掩膜修改、精密零件清洗和极紫外光

灰化和干洗

邮票的干洗

高温超导薄膜和分子束外延 (MBE)

表面改性和涂覆在印刷步骤前后的处理

北京同林科技有限公司专业的臭氧发生器厂家，目前已经开发出水处理臭氧发生器、空气消毒臭氧发生器、游泳池用臭氧发生器、实验室用臭氧发生器等多个领域专用的臭氧发生器产品。 公司研制的试验型臭氧发生器，在众多高校、科研单位发挥作用，得到了广大好评。半导体臭氧发生器已应用在多个半导体企业。