高浓度 O₃为 ALD 反应系统提供稳定气源配置介绍

一、配置要求

1. 主机：空气冷却式臭氧发生器，用于为 ALD 反应系统提供稳定、高浓度 O₃ 气源，由以下部件组成：

  1.1  臭氧发生单元：微流控放电结构，不需外接冷却水，支持连续 24 h 稳定运行。

  1.2 ★ 供气接口：O₂ 进气和 O₃ 出气均为 ¼″ SS316 卡套接口，兼容 ALD 管路。

  1.3  工作压力调节：内置稳压模块，支持 15-25PSIG（可通过外置减压阀现场调节进气压力和恒压控制）。

  1.4  ▲机箱与防漏：整机不锈钢密封，耐压 ≥ 150 PSIG，防腐蚀。

  1.5 ★ 控制系统：有内置或外置显示屏，实时显示功率、温度、进出口压力、报警信息等；

  1.6  电源：单相 220V，50/60 Hz；最大功耗 ≤ 200 W。

2. 安装需求：

  2.1 ▲台式或壁挂结构，尺寸 ≤ 200 mm (W) × 200 mm (H) × 400 mm (D)；重量 ≤ 10kg，便于近源布置。

3. 安全与诊断：

  3.1★配套有臭氧浓度测试器和臭氧破坏器用于在线监测以及安全尾气处理，测试器需具有数据存储功能以备后期查验

  3.2★具备过压、欠压、过温、冷却风扇异常、放电室进水等多重自检与联锁保护功能，异常自动停机并弹出报警界面。

二、技术性能要求

1. ★臭氧产量：≤15 g/h（O₃）

2. ★ 最高臭氧浓度：≥ 10 % (wt/wt)

3. O₂ 进气流量：0.1–1 SLPM 可调

4. O₃/氧混合气出口流量 ≥ 0.1  SLPM 可调

5. 启动时间：≤ 2 min 达到稳定输出

6. 稳定性：8 h 连续运行浓度波动 ≤ ±2 %

7. ▲噪声等级 ≤ 55 dB (A) @1 m

8. 冷却方式： 空气冷却，环境温度 15–35 ℃

9. 机箱防护等级： IP 54 或更高

三、售后服务要求

1．交货方式：

1.1  交货时间：合同签订后1个月内完成供货、安装、调试、交付使用。

★1.2  交货地点：用户指定地点。

2．售后服务

2.1安装调试与人员培训,中标人应及时安装调试设备，安装调试期间采购人的使用人员协助配合；安装调试完毕，中标人需组织采购人使用人员进行使用及日常维护等的培训。

  ★2.2提供1年免费质保期，质保期从采购人签订验收合格报告之日开始计算，免费质保期内供货方负责所有因设备质量问题而产生的费用，所有服务免费。并提供终身技术支持

英文介绍

Ozone Generator and Ancillary Equipment

Technical Specifications
Note: Clauses marked with “★” are mandatory. Any negative deviation or non‑compliance will render the bid (response) invalid. Clauses marked with “▲” are important. Failure to respond to or meet part of an “▲” clause will affect the evaluation score as specified in the tender rules, but will not invalidate the bid (response).

I. Configuration Requirements

1. Main Unit: Air‑cooled ozone generator that      supplies a stable, high‑concentration O₃ stream for an ALD (Atomic Layer      Deposition) reactor, consisting of:
        1.1  Ozone‑generation module: Micro‑flow discharge design; no      external cooling water required; supports continuous 24 h stable      operation.
        1.2 ★ Gas interfaces: O₂ inlet and O₃ outlet both      use ¼″ SS316 compression fittings, compatible with ALD tubing.
        1.3  Operating‑pressure regulation: Built‑in pressure‑stabilizing      module; supports 15–25 PSIG (inlet pressure adjustable on‑site via      external pressure‑reducing valve with constant‑pressure control).
        1.4  ▲ Enclosure & leak protection: Fully      sealed stainless‑steel housing; pressure resistance ≥ 150 PSIG; corrosion‑resistant.
        1.5  ★ Control system: Built‑in or external display      showing real‑time power, temperature, inlet/outlet pressure, alarm      messages, etc.
        1.6  Power supply: Single‑phase 220 V, 50/60 Hz; maximum power      consumption ≤ 200 W.
2. Installation Requirements:
        2.1  ▲Desktop or wall‑mount design;      dimensions ≤ 200 mm (W) × 200 mm (H) × 400 mm (D); weight ≤ 10 kg for      convenient point‑of‑use placement.
3. Safety & Diagnostics:
        3.1  ★ Supplied with an ozone concentration monitor and an      ozone destructor for online monitoring and safe exhaust treatment; the      monitor must feature data‑logging capability for future inspection.
        3.2  ★ Multiple self‑diagnostic and interlock protections      for over‑/under‑pressure, over‑temperature, cooling‑fan failure, ingress      of water into the discharge chamber, etc.; unit shall shut down      automatically and display an alarm screen upon fault detection.

II. Technical Performance Requirements