1. 工作原理

臭氧分解为自发放热反应：O 3 ⇒ 3/2 O 2 ∆H = -34 kca。

采用二氧化锰（MnO₂）基非均相催化剂，通过化学吸附弱化臭氧分子键，降低反应活化能，实现室温下快速分解，催化剂不参与反应、无消耗。

分解效率由多参数决定：

%Ozone Destruction Efficiency=F(T,t,v,RH)

（T = 温度、t = 停留时间、v = 线速度、RH = 相对湿度）。

2. 适用应用场景

CVD TEOS / 臭氧、原子层沉积（ALD）、有机金属化合物气相沉积（MOCVD）、灰化机（Ashers）、湿法处理台（Wet Benches）、喷涂工具等工业场景。

3. 设备型号选择

提供 CAT-E/F/G 三款型号，均使用 MnO₂催化剂，按臭氧浓度 + 气体流量选型（干态工况）：

处理能力：CAT-G ＞ CAT-F ＞ CAT-E；

流量上限：CAT-G 可达 100lpm，CAT-F 约 60lpm，CAT-E 约 40lpm（随臭氧浓度升高而降低）。

CAT‑x 性能曲线（干燥工况应用）

大流量（干燥工况应用）

4.安装规范

1. 基础安装要求

空间规划：设备周围预留足够操作 / 拆卸空间，保证空气自然对流，不堵塞通风口，远离高温设备和易燃材料。

安装方向：必须垂直安装、进气口朝下（设备贴有标识），防止臭氧绕开催化层泄漏。

管路连接：采用工业标准接头工艺，接触臭氧的管路 / 密封件需符合 316L 不锈钢 / 特氟龙 / Chemraz 要求，严禁使用银镀 VCR 垫片。

2. 压力安全阀说明

安全阀位于设备顶部，防止超压损坏设备（如尾气口关闭导致的 “闷压 / Dead-heading”）；

垂直安装下，安全阀泄放气体无臭氧（正常工况）。