臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型，含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号，纯度与浓度可按工艺要求配置。

臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度，覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等，可在线连续监测并输出信号。

臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水，适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景，出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。

溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量，含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪（紫外法），适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。