AOD系列-臭氧破坏装置采用热催化方法，安全可靠地将臭氧催化为氧气，无需耗材。
效率 99.9%
不锈钢结构
低压降（高达 0.02 bar）
在O3分解为O2的过程中,副产物是O2和热量
快速简便的连接
臭氧废气可以用臭氧破坏器处理，臭氧破坏器将臭氧迅速转化为氧气，并且不会排放任何有毒气体，例如一氧化碳或二氧化碳。所有臭氧破坏器均配有催化材料和快速接头。
任一端将用作入口或出口。AOD的出口可以对大气开放或管道连接到外部区域，远离人员。AOD 设计为在额定流量或以下运行时，其出口处的臭氧浓度为 0.01 ppm。确保臭氧流速不超过设备的规格。如果流速太高，则不会发生完全的臭氧破坏。
如果催化剂变湿，例如当工艺用水意外流入装置或水蒸气凝结在催化剂上时，应更换催化剂。由于水分和/或水可能受到污染，臭氧破坏效率可能会降低。
如果臭氧破坏装置内部的干燥剂需要更换，可以购买新的干燥剂。通过从产品的一端取下接头，可以将旧的干燥剂倒出并更换为新介质。
臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型，含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号，纯度与浓度可按工艺要求配置。
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臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度，覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等，可在线连续监测并输出信号。
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臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水，适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景，出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。
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溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量，含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪（紫外法），适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。
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